集成电路学院集成电路工艺与测试公共平台是一个针对集成电路领域的共享资源和合作交流平台，旨在促进探索新材料、发现新原理、开发新器件，为高校、科研机构和企业的科学研究以及产品研发提供硬件支撑和保障。平台位于软件园校区，拥有500余平米的千级超净实验室与200平米的普通环境实验室，所配备的大型仪器可以进行整套微纳工艺制作，拥有国际先进的最低8 nm高精度加工平台、国内领先的750 GHz太赫兹探针测试系统、刻蚀设备、完备的半导体薄膜、介质薄膜、金属薄膜生长仪器及多物理环境器件光、电、形貌等性能测试仪器，总价值约5000余万元。平台拥有专职技术团队提供微纳加工方案协助、工艺制备、器件及物性测试服务，开设实操仪器培训，推动…