电子束蒸发镀膜机是半导体器件制备过程中必不可少的的设备之一。该设备采用电子束流熔化金属的方式,可蒸镀各类金属材料,制备半导体器件中金属电极部分。设备技术参数如下:电子枪参数:电子枪电压8kv/10kv;反应腔室参数:本底真空5×10-3Pa;加热温度:室温-600℃;样品要求:小于4英寸。