电子束蒸发是真空蒸镀的一种。电子束蒸发镀膜机可以蒸发高熔点材料，比一般热蒸发镀膜机的热效率高、束流密度大、蒸发速度快，制备的薄膜纯度高、质量好，薄膜的厚度可以较准确地控制。
1) 极限真空：2×10-7 mbar2) 本底真空：小于8×10-6 Torr3) 现有金属材料：Au、Ti、Pd、Pt、Cr、Ge、Ni
