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热阻蒸发镀膜系统

作者：王子彤时间：2022-03-15 点击数：

预约使用	http://222.194.64.196/lims/!equipments/equipment/index.15.reserv	送样测试	http://222.194.64.196/lims/!equipments/equipment/index.15.sample
联系人	王子彤	联系电话	88390181-8224
放置地点	软件园校区教研楼超净间B104	仪器品牌	HHV
规格型号	Auto306	启用时间	2014/06/25
所属机构	微电子学院	资产编号	1404309S
开放共享	开放

用于不同材料的热阻蒸发镀膜。

现有热蒸金属：Au，Al。

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