脉冲激光沉积 ，就是将激光聚焦于靶材上一个较小的面积，利用激光的高能量密度将部分靶材料蒸发甚至电离，使其能够脱离靶材而向基底运动，进而在基底上沉积，从而形成薄膜的一种方式。
样品尺寸：≤2英寸；激光能量：10mJ；激光频率：1-10Hz；沉积温度：室温-1000℃；反应氛围：氧气、氩气。
