一、主要规格及技术指标
1.电子枪:肖特基热场发射电子枪;
2.加速电压或着陆电压范围:加速电压30 kV,60 kV,200 kV,300 kV;
3.STEM分辨率:≤0.06 nm@300 kV;≤0.07 nm@200 kV;≤0.11 nm@60 kV;
4.TEM分辨率:≤0.19 nm@300 kV;信息分辨率≤0.11 nm@300kV。
二、主要功能及特色
应用领域:适用于金属、陶瓷、半导体、矿物、复合材料和纳米级一维、二维和三维材料的原子尺度结构观察和成分及价态分析。
技术亮点:亚埃级分辨率,能够轻松实现原子尺度超高分辨HAADF-STEM, ADF, ABF, BF, iDPC成像,原子分辨元素成像以及极高的探测效率。
三、主要附件及配置
1.Super X EDS探头;
2.Gatan GIF Quantum 1065电子能量损失谱仪;
3.iDPC探头。