一、主要规格及技术指标

1.电子枪：肖特基热场发射电子枪；

2.加速电压或着陆电压范围：加速电压30 kV,60 kV,200 kV,300 kV；

3. TEM分辨率：≤0.06 nm@300 kV;≤0.08 nm@200 kV；≤0.10 nm@60 kV；

4. STEM分辨率：≤0.136 nm@300 kV；0.18 nm@200 kV。

二、主要功能及特色

应用领域：适用于金属、陶瓷、半导体、矿物、复合材料和纳米级一维、二维和三维材料的原子尺度结构观察和成分及价态分析。

技术亮点：亚埃级分辨率，能够轻松实现原子尺度超高分辨HRTEM晶格成像，原子分辨元素成像以及极高的探测效率。

三、主要附件及配置

1. Super X EDS探头；

2. Gatan GIF Quantum 1065电子能量损失谱仪；

3. iDPC探头。