微电子学院纳电子中心于2012年开始建设，以微电子学科为主导，仍在不断的发展。中心是山东大学校级平台，也是山东省高性能微纳器件与芯片集成工程技术研究中心的核心。中心位于软件园校区，拥有500余平米的千级超净实验室与200平米的普通环境实验室，所配备的大型仪器可以进行整套微纳工艺制作，拥有国际先进的最低8 nm高精度加工平台、国内领先的750 GHz太赫兹探针测试系统、刻蚀设备、完备的半导体薄膜、介质薄膜、金属薄膜生长仪器及多物理环境器件光、电、形貌等性能测试仪器，总价值约4000万元。平台拥有专职技术团队提供微纳加工方案协助、工艺制备、器件及物性测试服务，开设实操仪器培训，推动科研交叉和高水平成果产出，促进产学研结合…