一、技术指标

1、纵向扫描范围：0-20 mm

2、表面形貌重复性：＜0.15 nm

3、RMS重复性：0.1 nm

4、光学分辨率：0.52 μm

5、空间采样0.17 μm

6、台阶高度重复性：≤ 0.3%@1σ

7、物镜：10X，50X

8、台阶精度：≤1%；

9、样品台：电动X，Y平移(100 mm)。

二、主要功能及应用领域

白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器，通过白光干涉原理对样品进行轮廓测量，从而获取样品表面三维形貌。可实现测量各种表面类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式的表面，实现对元器件表面加工质量检测与表征。

三、服务项目（测试项目）

1、材料表面形轮廓等三维形貌测量

2、材料表面平整度、粗糙度、表面缺陷等测试

四、样品要求

光学器件、微纳结构样品、金属片表面、玻璃镜片及薄膜等样品