SEM主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态，即用极狭窄的电子束去扫描样品，利用电子束与样品的相互作用产生各种效应，其中主要是样品的二次电子发射。SEM是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。
能谱仪(EDS, Energy Dispersive Spectrometer)是用来对材料微区成分元素种类与含量分析，配合扫描电子显微镜来使用。各种元素具有自己的X射线特征波长，特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E，能谱仪就是利用不同元素X射线光子特征能量不同这一特点来进行成分分析的。
样品要求：无磁性，易导电
