联系人：李建勇
放置地点：千佛山校区创新大厦213
规格型号：Veeco NT9300
所属机构：先进材料测试与制造平台
资产编号：0808455S
联系电话：13869143670
仪器品牌：Veeco公司
开放共享：送样测试，校内100元/件，校外200元/件
一、主要规格及技术指标：
1、物镜：×2.5，×10，×50；
2、纵向扫描范围：0.1nm~10mm (标配）；
3、最大扫描速度：24um/s；
4、样品台尺寸：200mm XY自动样品台（标配）。
二、主要功能及特色：
高速表面形貌测量，可针对大尺寸样品、缝合的极不规则的样品实现大范围扫描（垂直方向最高可达10mm）。非接触测量；重复性高；测量精度高。
