联系人：高学平
放置地点：千佛山校区创新大厦108
规格型号：SU-70
所属机构：先进材料测试与制造平台
英文名称：Thermal field scanning electron microscope
联系电话：13173034965
仪器品牌：日立
启用时间：2009.06.01
开放共享：送样测试，校内300元/样，校外600元/样
一、技术指标：
1. 超高分辨率 ：二次电子像 1.0 nm(15 kV，WD=4.0 mm)，2.5 nm(1 kV.WD=1.5 mm)；
1.6 nm (1 kV.WD=1.5 mm,减速 模式, 用于浅表分析)；
2. 放大倍数： 20-2000 x（低倍模式）； 100-800000 x（高倍模式）；
3. 超级ExB技术：用于控制SE/BSE信号检测，实现消除放电现象及信号混合；
4. 分析模式(FF模式)：观察磁性样品及EBSP、WDS分析。
