一、主要功能与技术指标：

1.电子源：采用浸没式肖特基场发射电子枪；

2.分辨率:0.8nm (15kV); 1.2nm (1kV)；

3.放大倍数:25 ~ 1,000,000x；

4.加速电压:0.01~30kV；

5.束流强度:200 nA（15kV)；

6.物镜设计:超级混合式物镜SHL；

7.样品台:5轴马达驱动。

二、主要功能及特色：

1、分辨率可达0.8nm，便于实现纳米材料微观结构的表征；

2、具备低电压扫描技术，可在较小的束流下减小对样品的损坏；

3、配备快速型EBSD分析系统，配合稳定的束流，高效实现样品晶体结构的表征。

三、主要附件及配置：

1.能谱仪EDS，型号：牛津XMax-80；

2.背散射电子衍射系统EBSD，型号：牛津NordlysMax3；

3.配备背散射探头，可实现成分像的表征；

4.配备日本电子氩离子截面抛光仪，可以实现复合材料，易氧化材料等材料的截面抛光。