联系人：王一鸣
放置地点：软件校区教研楼负一层超净间
规格型号：e-Line plus
所属机构：微电子学院
资产编号：1400055S
英文名称：Electron Beam Lithography
联系电话：88390181-8223
仪器品牌：Raith
启用时间：2014
开放共享：开放
e-LINE Plus是一款高性能电子束曝光（EBL）系统，它能同时应用多种纳米加工技术。它拥有世界上专业EBL系统中最小直径的电子束束斑（< 1.6nm），最小加工线宽可达8 nm。E-LINE Plus使用包括高精度激光干涉样品台、高速高精度图形发生器、图形识别自动套刻等先进的电子束曝光技术，能够同时满足超高分辨率和大面积图形的微纳加工要求。
