一、功能简介:
X射线光电子能谱仪主要用于固体表面和界面的化学信息,可以分析除氢、氦以外的所有元素,包括元素种类及价态,并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。XPS与成像功能和离子溅射刻蚀相结合,可以用于固体表面元素成分及价态的面分布和深度剖析。XPS在各类功能薄膜的机理研究、纳米材料、电子材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、催化剂研究与失效分析等方面广泛应用。
二、主要规格及技术指标:
1. Al Kα单色化XPS
(1)功率:600W;
(2)最佳能量分辨和灵敏度(Ag3d5/2):0.45eV@80kcps;
(3)分析区域:□700×300µm、Φ110µm、Φ55µm、Φ27µm、Φ15µm。
2.Ag Lα单色化XPS
(1)功率:600W;
(2)分析区域:□700×300µm2、Φ110µm、Φ55µm、Φ27µm、Φ15µm共五档;
(3)□能量分辨和灵敏度:700×300µm2(Ag3d5/2):0.90eV@6kcps。
3. Al Kα/Mg Kα双阳极XPS
(1)功率:400W;
(2)分析区域:□700×300µm、Φ110µm、Φ55µm、Φ27µm、Φ15µm共六档。