联系人：贾磊
放置地点：软件园校区教研楼B104
规格型号：MBJ4
资产编号：1404308S
英文名称：Mask Aligner
联系电话：18654559573
仪器品牌：SUSS
光刻胶紫外曝光和套刻曝光，配有高可靠和高精度的对准系统，同时具备亚微米量级的高分辨率图形转移能力。
1． 主要技术指标
（1）两种紫外光源：365 nm（功率密度～14 mW/cm2）， 405 nm（功率密度～15 mW/cm2）.
（2）四种接触模式： Soft contact, Hard contact, Vacuum contact, Low vacuum contact.
（3）Mask Holder兼容3– 4寸的光刻版.
2． 样品要求
样品尺寸小于4 英寸
