一、主要技术指标
1、单色化Al Kα X射线源，束斑200～900 μm；
2、最小能量分辨率优于0.45 eV；
3、灵敏度（大面积）：Ag3d5/2（FWHM 0.6 eV），优于2000 kcps；Ag3d5/2（FWHM 0.45 eV），优于280 kcps。
二、主要功能及特色
应用领域：（1）整套系统可进行单色化XPS、平行成像XPS(XPI)、离子散射谱(ISS)、反射电子能量损失谱(REELS)、紫外光电子能谱(UPS)、角分辨分析(ARXPS)、深度分析。（2）可进行有机、无机、金属等各种材料的表面几个原子层的化学组成、价态、深度剖析及成像、以及能带特性的分析与表征。广泛应用于化学、物理、材料科学、表面科学、微电子学等领域。
