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场发射扫描电镜

联系人:吴拥中

放置地点:中心校区功能晶体材料楼129

规格型号:S-4800

所属机构:晶体材料研究所

一、主要功能及技术指标:

1、分辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV),1.4nm(1KV)入射电子减速功能;

2、最高达80万倍的放大倍数,高的成像分辨率:1.0nm/15kV,1.4nm/1kV(减速模式);

3、拥有电子束减速技术,将1kV下的分辨率提高了30%,不仅减少了电子对样品的损伤还可用于分析浅表面形貌;

4、优秀的分辨率稳定性;

5、人性化的用户操作界面,多种透镜模式可供选择。

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