X 射线三维超精密微纳结构检测仪

联系人:杜付鑫

放置地点:千佛山校区创新大厦负235

规格型号:nanoVoxel3502E

所属机构:先进材料测试与制造平台

一、主要功能

1.二维投影成像;

2.三维重掏成像。

二、主要技术指标

1.设备空间分辨率≤O.5μm;

2.在工作距离即X射线源到样晶旋转中心50mm时的测试分辩率运1.0μm;

3.扫描样昂的最大直径≥300mm;

4.射线源雷电压:20kV~160kV,最大靶功率≥25W,雷电流:0.05mA~1mA;

5.数字平板探测器成像面积≥244mm×195mm,像素矩阵≥1920*536,感光单元尺寸:127μm;

6.3轴精密样自台,样自台行程:X轴≥20mm, Y轴≥40mm, Z轴≥100mm,重载≥15 kg。

三、收费标准

1.校内用户:1500元/样品;

2.校外用户:3000元/样品。

注1:如需高分辨率扫描成像,根据实际操作机时调整收费;

注2:特殊尺寸和材料的测试样品,扫描夹具需用户名自备。

校级公共技术平台

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