一、主要规格及指标

1、扫描范围：XY：10μm Z:1μm

2、XY：2.5μm Z:0.3μm

3、XY：125μm Z:7μm

4、分辨率：XY：≤0.2nm, Z：≤0.01nm

5、加热台温区：-100℃-300℃

6、温湿度气氛腔：5%-60%相对湿度，23±5℃范围内可调

7、气氛：真空、空气、高纯氮气N2或高纯氩气Ar

二、 主要功能及特色

扫描探针显微镜（SPM）是以微小探针扫描样品表面，在高放大率下观察三位形貌图像、粘性弹性图像、磁力图像、摩擦力图像、电流图像、电位图像、压电力图像的显微镜统称。SPM-9700HT不仅支持原子力显微镜的接触模式、动态模式、相位模式、水平力模式、力调制模式，还能支持磁力模式、电流模式、表面电位模式、压电力模式、STM模式等功能，并搭配了CH-Ⅲ气氛腔，支持温湿度控制、样品台冷却加热控制、吹气控制、气氛控制等。

三、样品要求

1. 样品台是直径为15mm的圆台，样品可以固定在圆台上，厚度不超过8mm，如果使用加热台功能，建议样品厚度不超过3mm；

2. 样品表面必须平整干净，无各种污染物附着，表面起伏一般小于1微米，严禁超过扫描器Z调节范围！

3. 若是颗粒状样品，请分散到云母片上，干燥后测试。