近日，山东大学先进材料测试与制造平台场发射扫描电镜举办第二期技术培训，本次培训的主题是“场发射扫描电镜JSM-7800F+能谱仪技术培训”。来自材料学院，机械学院等学院的研究生参加了培训。

本期培训分为两部分，首先由平台老师刘树帅围绕如何发挥低电压扫描成像技术及能谱的使用方法这一主题进行理论培训，从扫描电子显微镜的发展、扫描电镜的基本原理、扫描电镜的结构、扫描电镜工作参数优化方法、能谱仪工作原理及参数的优化以及扫描电镜制样方式，由浅入深、由易到难的讲解，然后对JSM-7800F的基本使用方法及电镜参数调节对成像带来的影响进行了操作演示，并为学员们安排了充足的上机练习时间，及时予以指导，加深同学们对培训知识的理解。最后，参训人员参与了操作考核，考核成绩将作为衡量学员是否具有独立上机操作能力的依据，成绩合格者将被给予使用授权。

扫描电镜作为一种探索材料微观形貌、组成及结构的先进设备，具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点。数十年来，扫描电镜已广泛地应用在生物学、医学、冶金学等学科的领域中，促进了各有关学科的发展。平台现有的JSM-7800F热场发射扫描电镜是目前比较先进的高尖端检测设备，它配备了新开发的超级混合式物镜，可实现低加速电压下的高分辨率，极限二次电子分辨率可达0.8nm。同时，电子源采用浸没式肖特基场发射电子枪，保证设备在大束流电流下可进行稳定分析。并且该设备配有能谱仪（EDS）、电子背散射衍射系统（EBSD），可以实现微区元素的分析和晶体取向的分析等。

通过此次培训，提高了科研人员的技术操作水平，掌握了场发射扫描电镜+能谱仪的应用范围及基本操作，为后续自主预约使用仪器，开展扫描电镜成像方面的研究工作打好基础。先进材料测试与制造平台将不断提高技术服务水平，发挥平台的技术支撑作用。

2019年5月17日

先进材料测试与制造平台