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场发射电子探针

联系人:刘树帅

放置地点:千佛山校区创新大厦109

规格型号:JXA-8530F PLUS

所属机构:材料科学与工程学院

一、主要功能及技术指标:

1.电子枪:肖特基热场发射枪(并提供备用);

2.二次电子像分辨率:≤3nm(30KV);

3.背散射电子像灵敏度:成分分辨足以清晰分辨黄铜和黄铜;

4.加速电压:0.5~30kV;

5.束流范围:10-12~2×10-6 A;束流稳定度:≤±3×10-3/h;

6.分析元素:4Be - 92U;

7.分析精度:好于1%(主元素,含量>5%)和5%(次要元素,含量~1%);

8.谱仪道数:5道;

9.分光晶体类型:具备全聚焦和半聚焦晶体;

10.分光晶体交换:可任意位置进行自动交换;

11.谱仪控制:异步控制和同步控制两种;

12.分析速度:自动全元素定性分析时间≤40s。

二、主要功能及特色:

能够对微小区域所含元素进行定性或定量分析,元素分析种类遍布Be至U,包含点成分分析,线成分分析以及面成分分析,并且能够用二次电子或背散射电子进行形貌观察。

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