一、主要功能及技术指标:
1.电子枪:肖特基热场发射枪(并提供备用);
2.二次电子像分辨率:≤3nm(30KV);
3.背散射电子像灵敏度:成分分辨足以清晰分辨黄铜和黄铜;
4.加速电压:0.5~30kV;
5.束流范围:10-12~2×10-6 A;束流稳定度:≤±3×10-3/h;
6.分析元素:4Be - 92U;
7.分析精度:好于1%(主元素,含量>5%)和5%(次要元素,含量~1%);
8.谱仪道数:5道;
9.分光晶体类型:具备全聚焦和半聚焦晶体;
10.分光晶体交换:可任意位置进行自动交换;
11.谱仪控制:异步控制和同步控制两种;
12.分析速度:自动全元素定性分析时间≤40s。
二、主要功能及特色:
能够对微小区域所含元素进行定性或定量分析,元素分析种类遍布Be至U,包含点成分分析,线成分分析以及面成分分析,并且能够用二次电子或背散射电子进行形貌观察。