一、功能简介：

X射线光电子能谱仪主要用于固体表面和界面的化学信息，可以分析除氢、氦以外的所有元素，包括元素种类及价态，并可以提供测定元素相对含量的半定量分析。XPS与成像功能和离子溅射刻蚀相结合，可以用于固体表面元素成分及价态的面分布和深度剖析。XPS在各类功能薄膜的机理研究、纳米材料、电子材料、高分子材料、材料的腐蚀与防护、催化剂研究与失效分析等方面广泛应用。

二、主要规格及技术指标：

1. Al Kα单色化XPS

(1)功率：600W；

(2)最佳能量分辨和灵敏度（Ag3d5/2）：0.45eV@80kcps；

(3)分析区域：□700×300µm、Φ110µm、Φ55µm、Φ27µm、Φ15µm。

2.Ag Lα单色化XPS

(1)功率：600W；

(2)分析区域：□700×300µm2、Φ110µm、Φ55µm、Φ27µm、Φ15µm共五档；

(3)□能量分辨和灵敏度：700×300µm2（Ag3d5/2）：0.90eV@6kcps。

3. Al Kα／Mg Kα双阳极XPS

(1)功率：400W；

(2)分析区域：□700×300µm、Φ110µm、Φ55µm、Φ27µm、Φ15µm共六档。