一、主要规格及技术指标
1.样品台：900mm×900mm×750mm（H），可装直径200mm样品；
2.样品台自由度：X轴125mm，Y轴100mm，倾转角度-10至90°；
3.焦距：5~80mm；放大倍数：5x~300000x；
4.自动变焦聚光能力：-50μm~50μm；
5.二次电子像分辨率：3nm（30kV）、8nm（3kV）、15nm（1kV）；
6.背散射像分辨率：4nm（30kV）。
二、主要功能及特色
1.利用扫描电镜的二次电子像可对材料进行断口形貌分析和金相组织观察与分析。
2.背散射电子像可用于材料的成分像和形貌像的观察分析。
